苏州岚创取得自动移动的磁控靶材机构及镀膜机专利，增加靶材可移动相对距离

金融界2025年5月7日消息，国家知识产权局信息显示，苏州岚创科技有限公司取得一项名为“一种自动移动的磁控靶材机构及镀膜机”的专利，授权公告号CN222821631U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种自动移动的磁控靶材机构及镀膜机，包括安装基座，自动移动的磁控靶材机构还包括至少两个丝杆齿轮组件和至少两个靶座组件，丝杆齿轮组件位于安装基座上方，靶座组件位于丝杆齿轮组件上方并与丝杆齿轮组件传动连接，丝杆齿轮组件驱动靶座组件在溅射位置以及回避位置之间往复移动，至少两组靶座组件在溅射位置之间的距离小于至少两组靶座组件在回避位置之间的距离。本申请多个丝杆齿轮组件在安装基座上呈周向布置，靶材对向布置使得第一靶材在随着滑动座从回避位置向溅射位置移动时，第二靶材能够从溅射位置向回避位置移动，增加靶材可移动的相对距离，对于镀膜的均匀性以及镀膜速率带来了更多调整的可能性。

天眼查资料显示，苏州岚创科技有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州岚创科技有限公司财产线索方面有商标信息3条，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可6个。

本文源自：金融界

作者：情报员