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中欣晶圆申请一种冷却水管微调装置专利,使对冷却装置位置调节更方便

金融界2025年3月29日消息,国家知识产权局信息显示,上海中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“一种冷却水管微调装置”的专利,公开号CN 119694931 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明涉及硅片清洗技术领域,具体地说,涉及一种冷却水管微调装置,包括沿一方向延伸设置的支撑台,所述支撑台上设有冷却水喷出装置;所述支撑台与所述冷却水喷出装置之间设置有驱动机构,所述驱动机构能够驱动所述冷却水喷出装置在所述支撑台上沿所述支撑台的延伸方向往复移动。本申请当需要对冷却水喷出装置的位置进行调节时,只需要操作驱动机构即可,能够较佳的避免繁琐的螺丝拆装,使得对冷却水喷出装置的位置调节更方便,进而使得设置在支撑台上的冷却水喷出装置能够适用于对不同尺寸的硅片的降温及清洗,适用范围更广。

天眼查资料显示,上海中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本48000万人民币,实缴资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息207条,此外企业还拥有行政许可76个。

本文源自:金融界

作者:情报员