国产突破! 东西湖造“中国芯”

在东西湖区柏泉街,武汉芯丰精密科技有限公司(以下简称“芯丰精密”)的生产车间内,工人们身着整洁的无尘服、佩戴着防尘帽,正在对设备进行检测和调试。近日,从这里传出振奋人心的消息:公司自主研发的首台先进封装用全自动晶圆修边设备UNI-D310T,已成功交付国内某头部半导体制造企业。这标志着我国在半导体先进封装关键设备领域取得重要突破,为国内封测产业自主可控再添“利器”。

客户顺利接收首台先进封装用全自动晶圆修边设备。

芯丰精密的发展,是“临空港速度”与“芯丰速度”的双向奔赴。武汉芯丰精密科技有限公司总经理万先进感慨,从建设初期到快速发展,芯丰精密在4个月内完成了落地、选址、上万平方米的过渡厂房改造和配套设施建设。东西湖区还多次围绕企业进行链式招商,让“芯丰速度”刷新了多家国内半导体头部大厂重大项目建设周期的纪录。

高效的土壤催生创新的种子,不断结出半导体先进装备产业化落地的硕果。自去年3月投产以来,芯丰精密订单排期已至明年。更令人瞩目的是其创新实力:公司已申请专利160余项,多款产品达到国内领先、国际先进水平。此次交付的UNI-D310T,正是其创新力转化为产业支撑的生动体现。

高洁净度生产车间确保产品生产品质。

记者了解到,UNI-D310T设备的核心优势在于其高度的集成化与多功能性。这款12寸晶圆修边设备,将晶圆修边与划片两项关键工艺集成于同一机台。万先进介绍,该设计一举破解行业两大痛点:一是双工艺集成,大幅缩短加工流程,提升整体效率;二是空间与成本双降,减少机台占用,为寸土寸金的洁净室节省宝贵空间,同时降低客户设备采购和维护成本。

此外,UNI-D310T展现出强大的兼容性与灵活性:既能满足先进封装的严苛要求,也可兼容传统封装工艺,并支持根据客户特定场景提供定制化解决方案。

在实际应用中,UNI-D310T的“硬核”性能得到充分验证,设备完美兼容8英寸及12英寸晶圆的加工工艺,可实现晶圆环切、半切和全切等多种工作模式。其模块化的设计理念为未来功能升级预留了充足空间,而智能刀片磨损监测系统则能实时监控刀片状态,有效延长使用寿命并保障加工质量的稳定性。

UNI-D310T的成功交付,是芯丰精密迈向新征程的起点。万先进表示,公司已启动多项先进装备的研发项目,将持续加大研发投入,坚定推行“量产一代、研发一代、预研一代”的产品战略。

“我们的目标是聚焦先进晶圆加工装备及核心耗材技术,致力于成为全球领先的半导体高端装备及解决方案提供商。”万先进坚定地说,“芯丰精密将持续以自主创新为引领,为中国半导体产业的自主自强贡献坚实的‘芯丰力量’。”